超純水設備的工藝流程為：

1、預處理系統(tǒng)→反滲透系統(tǒng)→中間水箱→粗混合床→精混合床→純水箱→純水泵→紫外線**器→拋光混床→精密過濾器→用水對象 (≥18MΩ.CM)(傳統(tǒng)工藝)。

2、預處理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純化水箱→純水泵→紫外線**器→拋光混床→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象(≥18MΩ.CM)(###新工藝)。

3、預處理→一級反滲透→加藥機(PH調(diào)節(jié))→中間水箱→第二級反滲透(正電荷反滲膜)→純水箱→純水泵→EDI裝置→紫外線**器→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象(≥17MΩ.CM)(###新工藝)。

4、預處理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純水箱→純水泵→紫外線**器→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象(≥15MΩ.CM)(###新工藝)。

5、預處理系統(tǒng)→反滲透系統(tǒng)→中間水箱→純水泵→粗混合床→精混合床→紫外線**器→精密過濾器→用水對象 (≥15MΩ.CM)(傳統(tǒng)工藝)。